MEMS-MOS气体传感器介绍

2025-05-15 MEMS-MOS气体传感器的简介一、基本原理MEMS-MOS气体传感器主要利用金属氧化物半导体材料对特定气体的敏感特性来检测气体。这些传感器通常以单晶硅材料为基底，金属氧化物组分为气体敏感材料。当气敏材料暴露于被测气体中时，气体会与材料发生反应，引起电导率或电阻率的变化，从而产生包含气体成分和浓度的电信号。经过信号处理电路处理后，即可识别气体的成分和浓度。二、技术特点1、微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。同时微型...